当前位置： 扩散器 >> 扩散器发展 >> 螺杆真空泵有下列几种类型
1.内部压缩型螺杆类型：
之内加压螺钉设计和外加压螺钉设计的基本原理非常相似，只是使用了一对不等距的螺钉。螺钉间的体积不断缩小，导致外部压缩。由于外部压缩，这种设计可将功耗降低到与多级泵相当的水平。但是，在许多工艺过程之中，这种之内压缩和多级泵一样，很容易引起泵体的物理、化学变化而引起凝固或液化。
2.三裂圆形裂片：
三叶圆瓣设计的原理与双圆瓣设计的原理完全相同。它只是在一个旋转中将气体分成三部分，而不是像双圆形叶瓣设计那样将气体分成两部分。三叶圆瓣设计与双叶圆瓣设计具有相同的优点和缺点。为了进一步降低功耗，一些厂商在传动部分采用了两台直流电机，但这也会导致扭矩的降低和重新启动能力的下降。同双叶瓣设计一样，三叶瓣设计的每一级都需要大量氮气进行稀释和隔离。
3.双圆形叶：
双圆叶设计与目前最流行、应用最广泛的罗茨泵非常相似。事实上，最早的干泵设计思想包括堆叠罗茨泵。这种多级设计使得气体通道相当复杂，每一级都需要很大的氮气流量来稀释和隔离。同时，为了达到良好的真空度，对各级间隙有非常严格的要求。当然，干式螺杆真空泵的设计由于外部压缩比的提高，使其功耗相对较低。
4.外压螺杆类型：
在内部加压螺钉设计之中，使用一对等间距螺钉。这最大限度地减少了外部压缩，同时允许最短和最简单的气路。这样，气体在泵体之内停留的时间最短。管这种设计由于外部压缩比的降低而具有相对较高的功耗，但它在许多复杂的半导体工艺之中表现出极高的稳定性。。这种单级设计使得对氮气用量的要求非常小而简单，使其在不同工艺之中具有良好的互换性。在许多清洁工艺之中甚至可以消除氮气。
5.组合式（根+爪）：。
组合式（罗茨+卡爪）设计使用罗茨提高低压下的泵送效率，使用卡爪提高高压下的泵送效率。其基本原理和气体通道与后面介绍的圆形叶瓣设计完全相同。有的厂家还将末级改为星形设计，使气体在一次旋转之中可以分成五个部分，就像三圈叶瓣设计可以将其分成三个部分一样。同样，在许多工艺之中，组合设计的每一阶段都需要大流量的氮气来稀释和隔离。
螺杆真空系统与其他真空系统的比较。
（一）。
蒸汽喷射系统:当工艺条件不稳定时，这可能导致上游废水被泵回，污染下游工艺系统。
液环式真空泵系统：一旦真空泵发生故障，流出物或工作液将被吸回下游污染工艺系统。
干式螺杆真空泵系统：由于是完全干式的，对下游工艺没有任何污染。
（二）。
注汽系统：动力蒸汽与工艺蒸汽混合，排放后需要处理。
液环真空泵系统：工作介质之中混入工作液或凝结成工作液，需要处理之后才能排出。
干式螺杆真空泵系统：无排放，对环境无污染。
（三）。
注汽系统：需要动力蒸汽，消耗量大，运行成本高。
液环真空泵系统：它需要工作流体（密封流体）及相关的冷却和分离装置。
干式螺杆真空泵系统：所需公用工程少，只需向泵供给少量的电力和冷却水。
（四个）。
注汽系统：喷油器易腐蚀，喷油嘴易磨损。
液环升压泵系统：如果工艺介质具有腐蚀性，则液环升压泵及其工作液循环系统必须采用耐腐蚀材料制成。。
干式螺杆真空泵系统：干式螺杆真空泵不会发生腐蚀，因此可以用普通材料制造。
（五）。
注汽系统：由于介质沉淀在喷射器的扩散器之上，容易堵塞。
液环真空泵系统：需要额外的工艺和设备来从排放物之中分离或回收有用的溶剂和其他成分。
干式螺杆真空泵系统：工艺介质与干式螺杆真空泵接触或混合，因此溶剂或其它有用成分可在泵出口处直接回收。
（六）。
注汽系统：喷射器的操作灵活性小。
液环升压泵系统：如果过程介质没有腐蚀性，液环升压泵的初始投资相对较低。。
干式螺杆真空泵系统：干式螺杆真空泵可方便地从一个工艺单元移植到另一个工艺单元。
（七）。
注汽系统:冷却水温度将限制真空泵。
液环真空泵系统：工作流体的蒸汽压力、过程冷凝水的蒸汽压力、冷却水的温度都受到限制，液环真空泵的真空能力也受到限制。
干式螺杆真空泵系统：与液环升压泵相比，具有更高的真空度。
（八）。
注汽系统：效率最低，只有20%的能量用于抽真空。
液环真空泵系统：液环泵比其他系统需要更多的操作和设备维护。
干式螺杆真空泵系统：干式螺杆真空泵的效率非常高，与其他类型的设备相比，只消耗少量的电力。
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