设备介绍

俄歇电子能谱仪属于表面分析仪器，可获得样品极表面元素种类、成分及化学态信息。具有如下特点：

1）分析元素范围广，可定性、半定量分析除H和He以外的所有元素，尤其对轻元素敏感；

2）分析深度极浅，能提供固体样品表面3~10原子单层（0.4～6nm）的组分信息(图1)；

3）分析区域范围广，可分析材料中Φ10nm~Φ5mm区域内的成分与化学态；

4）具有成像功能，可获得微区表面形貌和元素分布信息(图2)；

5）可实现元素的三维分析，不仅有点、线、面分析，而且借助氩离子刻蚀可以实现深度剖析(图3)。

此外，AES数据可单独使用或与SEM-EDS、TEM-EDS和XPS等结果相互佐证，广泛应用于：电池/半导体结构分析[1,2]，膜厚度分析[3]，纳米颗粒/纳米管成分分析[4,5]，晶格应变分析[6]，多层膜扩散机制探究[7]，界面反应机理[8]以及缺陷形成机制[9]研究等，同时可对微区腐蚀、污染情况进行分析，并有望为催化材料表面活性物质的分布提供依据。

[1]ZhongXH,etal.AppliedSurfaceScience,,:.

[2]GuoLQ,etal.AppliedSurfaceScience,,:48–55.

[3]ThomasOrvis,etal.JournalofVacuumScienceTechnologyA,,37(6):.

[4]K.Dawkins,etal.AppliedSurfaceScience,,:–.

[5]AlexeyDronov,etal.AppliedSurfaceScience,,:–.

[6]ZhangLX,etal.Science,,():-.

[7]YanXL,etal.AppliedSurfaceScience,,:–.

[8]YanK,etal.AppliedSurfaceScience,,:–.

[9]QaoWQ,etal.PhysicalChemistryChemicalPhysics,,18:-.

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