一。旋涂机原理

POLOS旋涂机提供无限的工艺：通过大型彩色触摸屏控制器进行简单的分步配方编程，USB连接或从您自己的PC下载，无限的程序/步骤和图形表示

二、旋涂机分为

毫米

毫米

毫米

毫米

毫米

三、POLOSSPINiNPP的供货范围：

内径毫米的碗，适用于最大6英寸（毫米）晶圆，最大4英寸x4英寸（毫米）基板，材料天然聚丙烯NPP；

手动化学分配：实施盖子中的单注射器支架；

彩色触摸屏；

USB端口；

电缆；

吸盘和适配器：A-V36-S45-PP-HD真空吸盘+D-V10-S50-PP-HD-碎片适配器；

一组腔体内衬。

四、POLOSSPINi参数

材料：天然聚丙烯（NPP）

POLOSSPINi是一款多功能的高质量基材旋涂机，由PTFE或NPP制成。它专为研发和小批量生产而设计。用于手动或自动（可选）化学品分配的桌面版本。

适用于涂层、清洁、漂洗/干燥、显影、蚀刻、PDMI和其他工艺

1.2、POLOSSPINi规格：

高达6“（mm）晶圆

高达4“x4”（mm）方形基板

材料：天然聚丙烯（NPP）

通过大型彩色触摸屏进行简单的分步配方编程

带注射器支架的透明盖子，用于中央分配

电磁安全盖锁

N2扩散器，用于在过程中清除N2

12.rpm（取决于基板/卡盘）

高加速度和高精度

手动化学品分配

CW和CCW轮换

（可拆卸）带有可定制图标的彩色触摸屏

无限的程序存储，每个配方有多个步骤

接口

包括

1xA-V36-S45-NPP-HD真空吸盘

1xD-V10-S50-NPP-HD片段适配器