电子特种气体，简称电子特气，是指用于消费显现面板、半导体、光伏等电子产品的特种气体，是特种气体的一个重要分支，普遍应用于刻蚀、薄膜、掺杂等工艺。随着电子工业的快速开展，电子特种气体在半导体工业中的位置日益突出。半导体耗费的特殊气体占总量的73.1%，化合物半导体/led占4.4%，显现面板占19.4%，光伏占3.1%。

　　电子特种气体与传统工业气体的区别在于纯度更高或有特殊用处，它是超大范围集成电路、太阳能电池、化合物半导体器件、平板显现器件、光纤等电子工业消费中不可短少的根底和支撑资料之一。相关下游范畴的快速开展将带动将来特种气体的增量需求，目前国内自主消费的电子特种气体市场份额比拟小，还有很大的打破空间。

　电子特种气体是制造过程中的关键资料，触及集成电路、面板、光伏、光纤等多个环节，其质量直接影响电子器件的废品率和性能。目前半导体行业各个环节运用的特种气体有多种，常用的有20-30种。气体在许多集成电路制造工艺中，特别是在半导体薄膜的堆积中起着重要的作用，是构成薄膜的主要原料之一。

　　电子特种气体主要用于LCD行业的成膜和干法刻蚀工艺，液晶显现器品种繁多，其中TFT-LCD由于成像质量高、响应时间快、本钱逐步降低，是应用普遍的液晶显现技术。TFT-LCD面板的制造过程可分为三个阶段：前阵列、中盒成型和后模块组装。专用气体主要用于前阵列工艺的成膜和干法刻蚀阶段，经过屡次成膜过程，在衬底上分别堆积SiNx非金属薄膜和栅、源、漏、ITO等金属薄膜。

　　电子特种气体主要用于LED照明中LED外延片和芯片的制造过程。LED的主要消费工艺包括外延片生长、芯片加工和封装应用，电子专用气主要用于外延片生长和芯片加工。LED是一种新型的半导体固态发光器件，是发光二极管的缩写，具有光质好、发光率高、能耗低、平安环保等优点，是新一代照明光源和绿色光源。

　　电子特种气体在太阳能晶体硅电池和薄膜太阳能电池两种主流太阳能电池的消费中起着重要的作用。太阳能电池是一种应用太阳光直接发电的光电半导体片，由于太阳能是一种可再生的清洁能源，太阳能电池具有宽广的开展前景，而电池是太阳能电池的中心部件。电子特种气体在太阳能电池的很多消费环节都起着重要的作用，包括扩散、刻蚀、堆积等工艺。